超纯水(电阻率18.25MΩ·cm,25℃时)是纯度极高的水,几乎不含离子、颗粒、微生物、有机物,主要用在对水质极其敏感的精密制造、实验室、电子医药等行业。
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1、超纯水处理设备
化工超纯水设备通常都会安装有预处理系统,因为EDI模块的进水要求相对来说较高,所以必须经过前期处理才能流入EDI模块,预处理系统通常分 为四级,所谓四级预处理系统,其实就是由四个不同的过滤器组成的,经过四级预处理之后水中的大颗粒物质、硬质离子以及余氯等物质都会被去除掉。经过预处理 之后的水可以进入反渗透主机以及EDI模块进行进一步的滤除等功能,经过这两步处理之后的水能够满足化工生产用水要求,但是有些企业还要求水中不能含有微 生物等细菌,所以还需要在超纯水设备后面安装有消毒杀菌装置。
2、工业超纯水设备
高科技精微产品制造业、半导体材料等行业、化工类等生产企业、检验测试等实验科研。




1、纯水级(电阻率 0.5–5 MΩ・cm)
工艺:一级 RO 反渗透
适用:清洗、冷却、普通配料、纯水备用
2、高纯水级(5–15 MΩ・cm)
工艺:双级 RO + 混床 / EDI
适用:化工配料、电镀、玻璃清洗、一般电子
3、超纯水级(15–18.2 MΩ・cm)
工艺:双级 RO + EDI + 抛光混床 + UV + UF
适用:半导体、制药、实验室、光伏、锂电池
实验室:台式超纯水机(RO+EDI+UV+UF)
制药 / 医疗:双级 RO+EDI+UF + 除菌 + 消毒
半导体 / 芯片:双级 RO+EDI+TOC 去除 UV + 精抛光
光伏 / 锂电池:双级 RO+EDI + 抛光混床
电力锅炉补给水:双级 RO+EDI
电镀 / 表面处理:一级 / 双级 RO + 混床